應(yīng)用領(lǐng)域：

適用于各類晶圓片、COB封裝、攝像頭模組的精密清洗，IC封裝攝像頭模組清潔,L ED/芯片支架清潔，BGA基材清潔。

設(shè)備特點(diǎn)：

在線真空等離子清洗設(shè)備主要包括，上下料系統(tǒng)、物料傳輸系統(tǒng)、等離子清洗系統(tǒng)、視覺監(jiān)

控系統(tǒng)、托盤移動機(jī)構(gòu)、傳送機(jī)構(gòu)、物料夾取機(jī)構(gòu)、推桿機(jī)構(gòu)、傳感器檢測系統(tǒng)、控制面板、操作臺面和設(shè)備框架。

在線真空等離子清洗設(shè)備作為一種精密干法清洗設(shè)備，可以有效去除污染物，改善材料

表面性能，且具有自動化程度高，清洗效率高、設(shè)備潔凈度高、適應(yīng)范圍廣等優(yōu)勢。

對接前后線體，在線作業(yè)

真空腔體清洗物料。

可同時接入兩種氣體以上

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