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PBT-490 在線式晶元清洗機(jī)

PBT-490 在線式晶元清洗機(jī)

  • 所屬分類：半導(dǎo)體清洗設(shè)備
  • 產(chǎn)品型號：
  • 產(chǎn)品品牌：
我要詢價(jià)
  • 產(chǎn)品概述

應(yīng)用領(lǐng)域：

適用于各類晶圓片、COB封裝、攝像頭模組的精密清洗。

設(shè)備特 點(diǎn)：

主要用于清洗wafer表面及 切割道內(nèi)的硅屑以及其他切割殘?jiān)?/span>

清洗后產(chǎn)品無裂片、表面無臟污、無殘水、無膠絲等異常

高速離心脫水，工件表面無水痕殘留

清洗流程:二流體清洗(可分段設(shè)置) +CAD風(fēng)切水+離心干燥

采用提欄式上料(兼容8寸、12寸帶鋼Ring環(huán)晶圓產(chǎn)品》

.配備自動上下料機(jī)械臂取放Ring環(huán)，清洗過程全自動，無需人工干預(yù)

設(shè)備頂部配備FFU，過濾器等級U15 (0.1-0.2 um效率99995%)

配備除靜電離子風(fēng)系統(tǒng)

配備空氣過濾系統(tǒng)，使用壓縮空氣更加潔凈

整體SUS304不銹鋼機(jī)身堅(jiān)固耐用，耐酸性、堿性等清洗液

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技術(shù)參數(shù)
型號PBT-490
外形尺寸1000MM(L)x1450MM(W)x1635MM(H)
總重量800KG
適應(yīng)產(chǎn)品尺寸標(biāo)準(zhǔn)8、12英寸晶圓
清洗載體標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼Ring環(huán)
上料方式標(biāo)準(zhǔn)8、12英寸提藍(lán)
可清洗Particle顆粒直徑≥0.5um
清洗良率96%以上
排氣口大小Ф100mm
N2Ф8mm
CAD進(jìn)氣大小Ф8mm
進(jìn)水管直徑Ф12mm
排水管直徑
Ф32mm
CAD壓力要求0.5-0.7MP
電源要求2P 220V 50HZ
功率3.5KW


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